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传感器电路中的IC--1431型硅压阻式压力传感器及其应用电路
IC-1431型硅压阻式压力传感器,可用于表压力、绝对压力、真空度和差压的测量。此外,还可以间接测量飞机的飞行高度、飞行速度、大型储液罐的液位、海洋的水深、气体管道的流量、人体的血压及呼吸压等。
硅压阻式压力传感器,是利用腐蚀工艺在单晶硅片上用扩散工艺或离子注入工艺制成一定形状的力敏电桥。当硅膜片收到压力作用时,力敏电桥阻值发生变化,使电路输出相应的电压信号Uo,电路如图所示。
该压力传感器的硅膜上,还带有一只增益电阻,用它的阻值大小来补偿电桥的灵敏度的离散性,使传感器具有互换性。因此这种传感器只有6脚,如图左侧部分所示,11、12脚为测试点。
图右侧部分为带增益嗲组RZ的经典应用电路,采用恒流源Io=1.5mA为IC-1431型硅压阻式传感器。输出满足量程为2V,无需在进行调整。
来源:阴雨
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