CO2激光器电源都使用了工频变压器，由于激光输出功率较大，电源消耗的电功率也比较大，所以电源的体积和重量明显加大。有时为了减小电路的负担，在输入端还使用了自耦变压器。这些都使得电源难以小型化。
原则上，变换器型开关电源都可以略去工频变压器而直接接到交流电网上。上图表示一种使用VMOS管的半桥式CO2激光器电源，它由半桥式逆变器、高压输出回路、驱动电路和控制电路几部分组成。
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