UPS的英文全称为UltraVIolet Photoelectron Spectroscopy。采用真空紫外源作为激发源，激发分子或原子的价层电子电离，收集激发电离电子得到光电子能谱。激发源常用稀有气体的共振线如He I、He II。它的单色性好，分辨率高。可用于分析样品外壳层轨道结构、能带结构、空态分布和表面态，以及离子的振动结构、自旋分裂、John-Teller 分裂等方面的信息。
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