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电源电路中的VMOS管的结构和输出特性曲线
接线图
2023年10月21日 09:32 145
admin
根据结构的不同,管分为两大类:
VMOS管,即垂直导电V形槽MOS管;
VDMOS管,即垂直导电双扩散MOS管。
它们的结构分别如图1-15(a)、(b) 所示,其中(a)为VVMOS结构剖面图,(b)为VDMOS结构剖面图。下面以VVMOS结构为例,说明一下VMOS管的构成。
获得垂直沟道的一种方法是形成穿入硅表面的V形槽,开始时在N+衬底上生成一个N-外延
层,在此外延层内进行一次掺杂颇轻的P型沟道体扩散,随后是一次N+源区扩散。然后刻蚀出V 形槽,并使它延伸进入到N-外延层内。最后生长氧化掩盖层。再通过金属化提供栅极及其它所需的连接。包括N+源区与P沟道体之间的连接。
按导电沟道划分,VMOS管可分为N沟道型和P沟道型两种,可与双极晶体管的NPN型和PNP型相对应。
作为一个例子,图1-16 画出N沟道增强型VMOS管的输出特性曲线。从形状上看,它与双极晶体管的输出特性相似。但内含不一样,这是由VMOS管的基本特性决定的。VMOS管输出特性中的每一条曲线是以栅源电压Ugs为参变量画出的,面双极晶体管输出特性的每一条曲线是以基极电流Ib为参变量画出的。
来源:阴雨
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